[发明专利]移载收板机在审
申请号: | 202310250964.0 | 申请日: | 2023-03-10 |
公开(公告)号: | CN116101785A | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 韩燕子;焦官华;李香滨;胡昊 | 申请(专利权)人: | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人: | 常鹏 |
地址: | 230088 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种移载收板机,包括输送模块、曝光模块、集板模块、移栽机模块和机器人模块,移栽机模块包括吸盘组件、安装板和底座,吸盘组件与安装板固定连接,安装板与底座可滑动地连接,且吸盘组件位于曝光模块的上方,吸盘组件用于将待曝光件吸附在曝光模块上。机器人模块设在吸盘组件的上方,机器人模块包括可伸缩的机械臂和第一吸盘,第一吸盘设在机械臂的自由端,第一吸盘用于将曝光模块上的被曝光件移动至集板模块上。根据本发明的移载收板机,减小了移载收板机的尺寸,从而减小了移载收板机的占用空间,同时有效简化了运动控制流程,可以提高移载收板机的工作效率,提高产能,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 移载收 板机 | ||
【主权项】:
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