[发明专利]移载收板机

权利要求书

1.一种移载收板机，其特征在于，包括：

输送模块；

至少一个曝光模块，所述曝光模块设在所述输送模块的输送方向的下游；

集板模块，所述集板模块设在所述曝光模块的远离所述输送模块的一侧；

至少一个移栽机模块，所述移栽机模块包括吸盘组件、安装板和底座，所述吸盘组件与所述安装板固定连接，所述安装板与所述底座可滑动地连接，且所述吸盘组件位于所述曝光模块的上方，所述吸盘组件用于将待曝光件吸附在所述曝光模块上；

机器人模块，所述机器人模块设在所述吸盘组件的上方，所述机器人模块包括可伸缩的机械臂和第一吸盘，所述第一吸盘设在所述机械臂的自由端，所述第一吸盘用于将所述曝光模块上的被曝光件移动至所述集板模块上。

2.根据权利要求1所述的移载收板机，其特征在于，所述第一吸盘包括本体和多个凸起，多个所述凸起间隔设在所述本体的邻近所述吸盘组件的一侧，所述本体内具有气流通道,所述气流通道适于与抽取装置连通，每个所述凸起形成有通孔，且所述通孔与所述气流通道连通。

3.根据权利要求2所述的移载收板机，其特征在于，多个所述凸起分别与所述本体在所述输送模块的所述输送方向的两端。

4.根据权利要求1所述的移载收板机，其特征在于，所述机械臂处于收缩状态时，所述第一吸盘位于所述吸盘组件的上方。

5.根据权利要求1所述的移载收板机，其特征在于，所述机械臂为四轴机器人。

6.根据权利要求2所述的移载收板机，其特征在于，所述吸盘组件包括多个第二吸盘和限位件，多个所述第二吸盘与所述安装板或所述限位件相连，所述限位件位于所述第二吸盘和所述机器人模块之间，多个所述限位杆沿所述限位件的长度方向间隔开。

7.根据权利要求6所述的移载收板机，其特征在于，所述限位件包括连接板和多个限位杆，所述连接板位于所述曝光模块的远离所述安装板的一侧，多个所述限位杆连接在所述连接板和所述安装板之间，且多个所述限位杆沿所述第二吸盘的长度方向间隔开。

8.根据权利要求1-7任一项所述的移载收板机，其特征在于，所述曝光模块包括光路组件和平台，所述平台设在所述吸盘组件和所述光路组件之间，且所述平台的远离所述光路组件的一侧表面与所述输送模块的远离所述光路组件的一侧表面平齐。

9.根据权利要求1-7任一项所述的移载收板机，其特征在于，所述集板模块具有斜面，所述斜面从所述集板模块的顶部朝向所述吸盘组件的方向倾斜。

10.根据权利要求9所述的移载收板机，其特征在于，所述斜面的邻近所述吸盘组件的一侧设有凸筋，所述凸筋的横截面积沿远离所述机器人模块的方向逐渐增大。