[发明专利]具有多层光电传感薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有多层光电传感薄膜晶体管的制备方法，包括以下步骤将基底放入第一溅射氛围进行溅射形成铝制的底栅层，将基底放入原子层沉积氛围进行原子层沉积，底栅层的上表面形成氧化铝介质层；将基底放入第二溅射氛围基于IGZO靶材溅射形成传输层；将基底放入第三溅射氛围基于IGZO靶材以及氮气气流溅射形成光吸收层；将基底放入第四溅射氛围基于铝单质靶材溅射形成铝电极；基底、底栅层、氧化铝介质层、传输层、光吸收层以及铝电极构成光电传感复合薄膜结构用于光电传感器内晶体管的光电转换。本方法能够制备高纯度光电传感薄膜可稳定地在可见光照下对电流进行放大，通过溅射法制备光电传感薄膜显著提升了光电晶体管的可见光响应。