[发明专利]一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备与工艺方法在审
| 申请号： | 202310199175.9 | 申请日： | 2023-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN116330141A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;刘振颂;崔祥祥;万省作;石春景 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B31/033 | 分类号： | B24B31/033;B24B31/00;B24B31/12;B24B1/04;B24B41/06;B24B49/00;B24B51/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 修睿;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备与工艺方法。由横梁、滑枕、X轴卧式导轨、抛光设备壳体、控制系统、抛光装置及热能辅助装置、超声辅助装置、主轴箱、Z轴立式导轨组成，横梁连接Z轴立式导轨及主轴箱；横梁的底端滑动连接在滑枕上。抛光设备壳体容纳抛光装置及热能辅助装置；控制系统控制抛光装置及热能辅助装置、超声辅助装置及主轴箱的状态；抛光装置进行工件的化学机械抛光过程；热能辅助装置改变化学机械抛光过程中的抛光温度；超声辅助装置实现主轴部分的超声振动；Z轴立式导轨连接主轴箱，实现主轴Z方向移动。本发明基于化学机械抛光原理及多能场耦合作用，待加工表面同时进行抛光处理，加工效率高，均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 复杂 曲面 超声 热能 辅助 化学 机械抛光 装备 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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