[发明专利]一种双芯片多参量压力传感器基座在审
申请号: | 202310195449.7 | 申请日: | 2023-03-03 |
公开(公告)号: | CN116295966A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 王维东;王维娟;谢成功;周青辉;倪志东 | 申请(专利权)人: | 蚌埠市创业电子有限责任公司;上海周衍自动化仪表有限公司 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L9/08;G01L19/00 |
代理公司: | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人: | 张加宽 |
地址: | 233010 安徽省蚌埠市中国(安徽)*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种双芯片多参量压力传感器基座,属于传感器技术领域,包括基座壳体,所述基座壳体的底部开设有充油腔,所述充油腔的上端开设有第一安装槽,所述第一安装槽内设置有第一芯片支撑座,所述第一安装槽的一侧设置有第二安装槽,所述第二安装槽内设置有第二芯片支撑座。本发明通过设置双芯片支撑座,配合安装双传感器芯片,从而使得同一压力传感器可同时测量绝压、表压及温度等多参量,满足不同压力测量需求,减少测量成本以及测量步骤,适用范围广;且传感器芯片只与芯片支撑座接触,极大地提高了传感器芯片所处位置的独立性,从而使得基座壳体对传感器芯片产生的影响达到最小,使得传感器芯片的绝缘性大大提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 参量 压力传感器 基座 | ||
【主权项】:
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