[发明专利]水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法在审
| 申请号： | 202310193393.1 | 申请日： | 2023-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN116399957A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 赵英伟;张文朋;曹健;秦天;吴爱华;张辉;任泽生;王峻澎;程壹涛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01N29/22 | 分类号： | G01N29/22;G01N35/00;G01N35/02;B65G49/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 刘少卿 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请适用于集成电路测试设备和仪器技术领域，提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法，该装置包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；底板设置在液体槽的底壁上，导轨支架设置于底板上，导轨设置于导轨支架上，滑车设置于导轨上，承片台设置于滑车上；导轨的两端的高度不同，且导轨较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽中液体的液面高度；推拉驱动机构设置于液体槽的底板上，且与滑车连接，推拉驱动机构能够控制滑车在导轨的两端之间移动。本申请提高了晶圆检测完成后更换晶圆过程的效率，使更换过程更加快速平稳。 | ||
| 搜索关键词： | 水浸式 超声 扫描 显微镜 样品 传送 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
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