[发明专利]水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法

说明书

本申请适用于集成电路测试设备和仪器技术领域，提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法，该装置包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；底板设置在液体槽的底壁上，导轨支架设置于底板上，导轨设置于导轨支架上，滑车设置于导轨上，承片台设置于滑车上；导轨的两端的高度不同，且导轨较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽中液体的液面高度；推拉驱动机构设置于液体槽的底板上，且与滑车连接，推拉驱动机构能够控制滑车在导轨的两端之间移动。本申请提高了晶圆检测完成后更换晶圆过程的效率，使更换过程更加快速平稳。

技术领域

本申请属于集成电路测试设备和仪器技术领域，尤其涉及水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法。

背景技术

目前集成电路生产测试用的超声波扫描显微镜的品牌很多，在每次测试结束后，更换下一个被测晶圆时，大都是采用手动操作，将水槽中的水排空后进行更换，或者直接在水中手动装卸被测晶圆，效率很低使得检测晶圆的时间大大拉长。有的超声波扫描电镜虽然具有自动取放样品功能，但机械结构复杂，价格昂贵，在具体生产生活中泛用性不高。除此之外，该自动取放样品功能并不完善，更换过程不够平稳，使得被测晶圆位置发生偏移，影响后续的检测。

发明内容

本申请实施例提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法，提高了晶圆检测完成后更换晶圆过程的效率，使更换过程更加快速平稳。

本申请是通过如下技术方案实现的：

第一方面，本申请实施例提供了一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；底板设置在液体槽的底壁上，导轨支架设置于底板上，导轨设置于导轨支架上，滑车设置于导轨上，承片台设置于滑车上；导轨的两端的高度不同，且导轨较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽中液体的液面高度；推拉驱动机构设置于底板上，且与滑车连接，推拉驱动机构能够控制滑车在导轨的两端之间移动。

结合第一方面，在一些可能的实现方式中，导轨包括受力侧导轨和从动侧导轨，受力侧导轨和从动侧导轨并行设置在液体槽的两侧，两个导轨轨道形状一致位于同一水平面上，承片台两端可滑动设置在两个导轨的轨道中，推拉驱动机构与滑车设置在受力侧导轨中的一端连接。

结合第一方面，在一些可能的实现方式中，导轨的轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，第一轨道为位于下部的水平轨道，第三轨道为位于上部的水平轨道，第二轨道位于第一轨道和第三轨道之间；第二轨道呈S形曲线状，将第一轨道和第二轨道圆滑连接，第二轨道靠近第一轨道的部分呈凹形曲线状，第二轨道靠近第三轨道的部分呈凸形曲线状。

结合第一方面，在一些可能的实现方式中，推拉驱动机构包括：丝杆、滑杆、滑块、第一支座、第二支座和推拉杆；第一支座和第二支座设置在底板上，且位于导轨的外侧；丝杆和滑杆并行设置在第一支座和第二支座之间，丝杆的一端穿过第二支座与电机连接，滑块套设在丝杆和滑杆上，且滑块与丝杆螺纹连接；推拉杆一端与滑块靠近第一支座的一侧连接，另一端与滑车连接；电机带动丝杆旋转，使得滑块在滑杆上移动。

结合第一方面，在一些可能的实现方式中，第一支座和第二支座上设置有限位螺丝，限位螺丝位于丝杆和滑杆下部在滑块移动至靠近第一支座或第二支座时，滑块抵触限位螺丝。

结合第一方面，在一些可能的实现方式中，承片台上设置有真空吸盘和真空气路系统；真空吸盘用于吸取晶圆；真空气路系统用于与真空吸盘连接为真空吸盘提供真空环境；真空气路系统包括手动阀、电磁阀、真空发生器、气体净化器和真空管路，真空发生器通过真空管路分别与电磁阀、手动阀和气体净化器连接，手动阀通过真空管路与真空吸盘连接；电磁阀用于开启真空发生器与压缩空气之间的真空管路，使压缩空气进入真空发生器中形成真空，手动阀开启或者关闭真空发生器与真空吸盘之间的真空管路；气体净化器用于对真空发生器的气体进行清洁，并输出洁净气体。