[发明专利]水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法

权利要求书

1.一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；

所述底板设置在所述液体槽的底壁上，所述导轨支架设置于所述底板上，所述导轨设置于所述导轨支架上，所述滑车设置于所述导轨上，所述承片台设置于所述滑车上；所述导轨的两端的高度不同，且所述导轨较低的一端低于预设高度，所述预设高度为盛放在所述液体槽中液体的液面高度；

所述推拉驱动机构设置于所述液体槽的底板上，且与所述滑车连接，所述推拉驱动机构能够控制所述滑车在所述导轨的两端之间移动。

2.如权利要求1所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述导轨包括受力侧导轨和从动侧导轨，所述受力侧导轨和所述从动侧导轨并行设置在液体槽的两侧，两个导轨轨道形状一致位于同一水平面上，所述承片台两端可滑动设置在两个导轨的轨道中，所述推拉驱动机构与所述滑车设置在受力侧导轨中的一端连接。

3.如权利要求2所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述导轨的轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，所述第一轨道为位于下部的水平轨道，所述第三轨道为位于上部的水平轨道，所述第二轨道位于第一轨道和第三轨道之间；

所述第二轨道呈S形曲线状，将所述第一轨道和所述第二轨道圆滑连接，所述第二轨道靠近所述第一轨道的部分呈凹形曲线状，所述第二轨道靠近所述第三轨道的部分呈凸形曲线状。

4.如权利要求1所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述推拉驱动机构包括：丝杆、滑杆、滑块、第一支座、第二支座和推拉杆；

所述第一支座和所述第二支座设置在底板上，且位于所述导轨的外侧；

所述丝杆和所述滑杆并行设置在所述第一支座和所述第二支座之间，所述丝杆的一端穿过所述第二支座与电机连接，所述滑块套设在所述丝杆和所述滑杆上，且所述滑块与所述丝杆螺纹连接；

所述推拉杆一端与所述滑块靠近第一支座的一侧连接，另一端与滑车连接；

电机带动所述丝杆旋转，使得所述滑块在所述滑杆上移动。

5.如权利要求4所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述第一支座和所述第二支座上设置有限位螺丝，所述限位螺丝位于所述丝杆和所述滑杆下部，在滑块移动至靠近第一支座或第二支座时，所述滑块抵触限位螺丝。

6.如权利要求1所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述承片台上设置有真空吸盘和真空气路系统；

所述真空吸盘用于吸取晶圆；

所述真空气路系统用于与所述真空吸盘连接为真空吸盘提供真空环境；

所述真空气路系统包括手动阀、电磁阀、真空发生器、气体净化器和真空管路，所述真空发生器通过所述真空管路分别与所述电磁阀、所述手动阀和所述气体净化器连接，所述手动阀通过所述真空管路与所述真空吸盘连接；

所述电磁阀用于开启所述真空发生器与压缩空气之间的真空管路，使压缩空气进入真空发生器中形成真空，所述手动阀开启或者关闭所述真空发生器与所述真空吸盘之间的真空管路；所述气体净化器用于对真空发生器的气体进行清洁，并输出洁净气体。

7.如权利要求6所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述真空气路系统还包括真空释放阀；所述真空释放阀与所述真空发生器连接，用于通断所述真空发生器和所述手动阀之间的管路。

8.如权利要求6所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述真空吸盘中部设置有第一真空吸孔、十字形凹槽、环形凹槽和第二真空吸孔，十字行凹槽与环形凹槽连通，第一真空吸孔位于十字形凹槽和/或环形凹槽中，第二真空吸孔均匀分布于环形凹槽外部；

所述第一真空吸孔、所述十字形凹槽和所述环形凹槽共同用于吸附第一预设尺寸的晶圆，所述第一真空吸孔与所述手动阀连接；

所述第一真空吸孔、所述十字形凹槽、所述环形凹槽和第二真空吸孔共同用于吸附第二预设尺寸的晶圆，所述第二真空吸孔与所述手动阀连接；所述第二预设尺寸大于所述第一预设尺寸。