[发明专利]一种氩离子辐照调制二维材料压电效应方向的方法及其应用在审
| 申请号： | 202310185352.8 | 申请日： | 2023-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN116193964A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 马增胜;吴雅苹;张一鸣;安保光;谢文靖 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | H10N30/04 | 分类号： | H10N30/04 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所(普通合伙) 43108 | 代理人： | 冷玉萍 |
| 地址： | 411105 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于氩离子辐照调制二维材料压电效应方向的方法及其应用。首先将不同厚度的二维材料转移到衬底上；再将二维材料暴露于氩离子辐照源，改变氩离子辐照源剂量，基于氩离子辐照技术调制二维材料压电效应方向。本发明通过离子辐照来调控二维材料压电效应方向，得到衬底上不同厚度二维材料施加的电压随振幅变化的关系，应用压电力显微技术，有效地得到二维材料的压电系数。通过离子辐照来调控二维材料压电效应方向，推动了二维材料在薄机电耦合器件领域的应用，并可结合实际需求对压电效应方向进行调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 辐照 调制 二维 材料 压电效应 方向 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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