[发明专利]一种气动真空阀在审
| 申请号： | 202310185004.0 | 申请日： | 2023-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN116221428A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 徐会杰;孙晓东;顾勇;叶首宝;许浩宾;闫学军;程飞;尤扬 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/34 | 分类号： | F16K1/34;F16K1/42;F16K1/32;F16K31/44 |
| 代理公司： | 南京匠桥专利代理有限公司 32568 | 代理人： | 王冰冰 |
| 地址： | 242000 安徽省宣*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种气动真空阀，包括阀体，阀体的底面向内开设有第一凹槽，所述阀体的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口，阀体的侧面设有开口和设于开口上的管道，所述第一凹槽靠近第一法兰接口的一端设有第一出气挡风组件，所述第一出气挡风组件上设有储能装置，所述阀体内设有支撑杆，支撑杆的一端穿过第一凹槽顶面的密封过孔结构与驱动机构连接，支撑杆的另一端与第一出气挡风组件连接，所述管道靠近开口的一端设有第二出气挡风组件。本发明能够有效避免了漏气，尤其是内漏现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气动 真空 | ||
【主权项】：
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