[发明专利]一种气动真空阀在审

专利信息
申请号: 202310185004.0 申请日: 2023-02-25
公开(公告)号: CN116221428A 公开(公告)日: 2023-06-06
发明(设计)人: 徐会杰;孙晓东;顾勇;叶首宝;许浩宾;闫学军;程飞;尤扬 申请(专利权)人: 宣城开盛半导体科技有限公司
主分类号: F16K1/34 分类号: F16K1/34;F16K1/42;F16K1/32;F16K31/44
代理公司: 南京匠桥专利代理有限公司 32568 代理人: 王冰冰
地址: 242000 安徽省宣*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 气动 真空
【权利要求书】:

1.一种气动真空阀,包括阀体(1),阀体(1)的底面向内开设有第一凹槽(2),其特征在于,所述阀体(1)的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口(12),阀体(1)的侧面设有开口(8)和设于开口(8)上的管道(9),所述第一凹槽(2)靠近第一法兰接口(12)的一端设有第一出气挡风组件,所述第一出气挡风组件上设有储能装置(17),所述阀体(1)内设有支撑杆(6),支撑杆(6)的一端穿过第一凹槽(2)顶面的密封过孔结构与驱动机构连接,支撑杆(6)的另一端与第一出气挡风组件连接,所述管道(9)靠近开口(8)的一端设有第二出气挡风组件,所述阀体(1)内还设有与支撑杆(6)连接的连杆连动机构和弧形弹件(18),弧形弹件(18)的两端分别与支撑杆(6)和连杆连动机构连接,所述连杆连动机构通过与支撑杆(6)连动以带动第一出气挡风组件及第二出气挡风组件压接密封。

2.根据权利要求1所述气动真空阀,其特征在于,所述第一出气挡风组件包括设于第一凹槽(2)靠近第一法兰接口(12)一端的第一出气口(20)和压接于第一出气口(20)上的第一挡风口(19),所述储能装置(17)设于第一挡风口(19)上;所述第二出气挡风组件包括第二出气口(11)和压接于第二出气口(11)靠近开口(8)一端的第二挡风口(13)。

3.根据权利要求2所述气动真空阀,其特征在于,所述连杆连动机构包括连接杆(7)、第一辅助杆(21)、固定杆(16)、套接于固定杆(16)上的圆环(15)、对称设于固定杆(16)两侧且一端与圆环(15)连接的第二辅助杆(14),所述第一辅助杆(21)与第一凹槽(2)的侧面活动连接,所述固定杆(16)的两端分别与第二挡风口(13)和第一辅助杆(21)连接,所述连接杆(7)的两端分别与支撑杆(6)和第一辅助杆(21)连接,所述第二辅助杆(14)的另一端与开口(8)的侧面连接,所述弧形弹件(18)的一端与支撑杆(6)固定连接,弧形弹件(18)的另一端与第一辅助杆(21)远离第一凹槽(2)侧面的一端连接。

4.根据权利要求3所述气动真空阀,其特征在于,所述第一辅助杆(21)包括第一辅助杆本体(211)和对称设于第一辅助杆本体(211)两侧面的弧形卡槽(212),所述固定杆(16)包括固定杆本体(161)和设于固定杆(161)本体侧面的第一球体卡块(162),所述连接杆(7)包括连接杆本体(71),连接杆本体(71)侧面设有第二球体卡块(72),第一球体卡块(162)和第二球体卡块(72)分别与两个弧形卡槽(212)卡接。

5.根据权利要求3所述气动真空阀,其特征在于,所述圆环(15)包括圆环本体(151),圆环本体(151)套接有滚珠套(152),所述滚珠套(152)与固定杆(16)套接。

6.根据权利要求2所述气动真空阀,其特征在于,所述支撑杆(6)包括支撑杆本体(61),支撑杆本体(61)的底端设有第二凹槽(62)、设于第二凹槽(62)内的第一弹簧(64)和与第二凹槽(62)套接的套接杆(63),所述第一弹簧(64)的两端分别与第二凹槽(62)的底面和套接杆(63)的顶面固定连接,所述套接杆(63)与储能装置(17)连接。

7.根据权利要求6所述气动真空阀,其特征在于,所述储能装置(17)包括储能本体(171)、设于储能本体(171)顶面的第三凹槽(172)、设于第三凹槽(172)内的弧形弹片(179)、设于弧形弹片(179)两端的活塞块(176)和对称设于第三凹槽(172)两侧面内的固定座(173),所述固定座(173)设有第四凹槽(174)和设于第四凹槽(174)内的第二弹簧(175),所述第二弹簧(175)的两端分别与第四凹槽(174)底面和活塞块(176)连接,所述套接杆(63)的底端设有压块(177),所述压块(177)的底面设有半球形凸起(178),半球形凸起(178)与弧形弹片(179)压接。

8.根据权利要求1所述气动真空阀,其特征在于,所述密封过孔结构包括设于第一凹槽(2)顶面用于穿过支撑杆(6)的通孔(4)和设于通孔(4)内的第一密封圈(5)。

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