[发明专利]一种气动真空阀

说明书

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种气动真空阀，包括阀体，阀体的底面向内开设有第一凹槽，所述阀体的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口，阀体的侧面设有开口和设于开口上的管道，所述第一凹槽靠近第一法兰接口的一端设有第一出气挡风组件，所述第一出气挡风组件上设有储能装置，所述阀体内设有支撑杆，支撑杆的一端穿过第一凹槽顶面的密封过孔结构与驱动机构连接，支撑杆的另一端与第一出气挡风组件连接，所述管道靠近开口的一端设有第二出气挡风组件。本发明能够有效避免了漏气，尤其是内漏现象的发生。

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种气动真空阀。

背景技术

在真空泵和真空腔室之间的连接管道上通常安装有真空阀，用于保障负压且自动开启或关闭，气动真空阀在半导体生产设备中普遍使用。然而，当前真空阀门普遍存在使用寿命较短，尤其是容易发生内漏问题，且由于内漏不易检测，容易导致产品质量不合格，甚至发生安全事故，给安全生产带来较大隐患。

现有技术中，申请号为201710100518.6，名称为气动真空阀的发明专利，其包括阀体，阀体上设有进气口与出气口，进气口与出气口连通并构成抽气通道，阀体内设有与抽气通道连通的开关通道，开关通道内设有阀芯与活塞，活塞与开关通道的壁滑动相连，阀芯插装在活塞的端部，抽气通道内与开关通道相交位置设有控制通道，阀芯上设有开关部，开关部处于抽气通道与开关通道相交位置，开关部在阀芯滑动过程中控制控制通道导通或封堵，阀芯上设有能够隔离活塞与抽气通道的隔离部。其是通过将阀芯与活塞设置为整体结构，提高了阀芯工作的稳定性和可靠性，同时将活塞与抽气通道隔离起来，提高了真空阀在恶劣条件下的适应能力。但是其并未解决容易发生内漏的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种气动真空阀，以解决真空阀容易内漏的问题，延长使用寿命。

基于上述目的，本发明提供了一种气动真空阀，包括阀体，阀体的底面向内开设有第一凹槽，所述阀体的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口，阀体的侧面设有开口和设于开口上的管道，所述第一凹槽靠近第一法兰接口的一端设有第一出气挡风组件，所述第一出气挡风组件上设有储能装置，所述阀体内设有支撑杆，支撑杆的一端穿过第一凹槽顶面的密封过孔结构与驱动机构连接，支撑杆的另一端与第一出气挡风组件连接，所述管道靠近开口的一端设有第二出气挡风组件，所述阀体内还设有与支撑杆连接的连杆连动机构和弧形弹件，弧形弹件的两端分别与支撑杆和连杆连动机构连接，所述连杆连动机构通过与支撑杆连动以带动第一出气挡风组件及第二出气挡风组件压接密封。

所述第一出气挡风组件包括设于第一凹槽靠近第一法兰接口一端的第一出气口和压接于第一出气口上的第一挡风口，所述储能装置设于第一挡风口上；所述第二出气挡风组件包括第二出气口和压接于第二出气口靠近开口一端的第二挡风口。

所述连杆连动机构包括连接杆、第一辅助杆、固定杆、套接于固定杆上的圆环、对称设于固定杆两侧且一端与圆环连接的第二辅助杆，所述第一辅助杆与第一凹槽的侧面活动连接，所述固定杆的两端分别与第二挡风口和第一辅助杆连接，所述连接杆的两端分别与支撑杆和第一辅助杆连接，所述第二辅助杆的另一端与开口的侧面连接，所述弧形弹件的一端与支撑杆固定连接，弧形弹件的另一端与第一辅助杆远离第一凹槽侧面的一端连接。

所述第一辅助杆包括第一辅助杆本体和对称设于第一辅助杆本体两侧面的弧形卡槽，所述固定杆包括固定杆本体和设于固定杆本体侧面的第一球体卡块，所述连接杆包括连接杆本体，连接杆本体侧面设有第二球体卡块，第一球体卡块和第二球体卡块分别与两个弧形卡槽卡接。

所述圆环包括圆环本体，圆环本体套接有滚珠套，所述滚珠套与固定杆套接。

所述支撑杆包括支撑杆本体，支撑杆本体的底端设有第二凹槽、设于第二凹槽内的第一弹簧和与第二凹槽套接的套接杆，所述第一弹簧的两端分别与第二凹槽的底面和套接杆的顶面固定连接，所述套接杆与储能装置连接。优选的，所述套接杆为圆柱体杆。