[发明专利]一种含有改性9-苯基吖啶光引发剂的感光性组合物在审
| 申请号： | 202310182332.5 | 申请日： | 2023-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN116339074A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 肖志义;毛灿;张念琦;董万荣 | 申请（专利权）人： | 湖南五江高科技材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;C08F2/48 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 郭广迅;赵岩 |
| 地址： | 417009 湖南省娄底市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明提供一种含有改性9‑苯基吖啶光引发剂的感光性组合物，其包含通式(1)所示的改性9‑苯基吖啶光聚合引发剂、粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光致产酸剂和任选的其他助剂。所述感光性树脂组合物感光度、分辨率及附着力优异，显影垃圾少并且抗蚀图案形状良好。 |
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| 搜索关键词： | 一种 含有 改性 苯基 吖啶光 引发 感光性 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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