[发明专利]一种含有改性9-苯基吖啶光引发剂的感光性组合物

说明书

本发明提供一种含有改性9‑苯基吖啶光引发剂的感光性组合物，其包含通式(1)所示的改性9‑苯基吖啶光聚合引发剂、粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光致产酸剂和任选的其他助剂。所述感光性树脂组合物感光度、分辨率及附着力优异，显影垃圾少并且抗蚀图案形状良好。

技术领域

本发明属于感光材料技术领域，具体涉及一种含有改性9-苯基吖啶光引发剂的感光性组合物。

背景技术

紫外光固化技术具有固化速率快、污染少、成本低等优点，在光固化涂料、光刻胶、光固化油墨、微电子、粘合剂等技术中得到广泛的应用。在光固化技术发展的过程中，光引发剂体系的研究与开发占据着十分重要的位置。

近年来，LED作为新光源在光固化领域的应用正吸引着越来越多的注意，其在光输出、工作效率、成本、环保性等方面显示出了巨大的应用潜力。开发与LED光源相匹配的产品已成为本领域技术人员研究的重点。365～405nm是现有LED光源的一个主要波长范围。目前微电子工业中广泛使用的六芳基咪唑类(HABI)引发体系，对长波紫外和可见光不够敏感，并且在使用过程中存在溶解度小、光引发活性低、使用量大等问题。

吖啶类化合物是一类非常重要的光引发剂，其中9-苯基吖啶是现有吖啶类光引发剂中使用最为广泛的产品之一。但是，使用9-苯基吖啶作为光引发剂的感光性组合物在形成抗蚀图案时不能兼具高感光度、高分辨率、高溶解度、高分散稳定性和低显影垃圾等优点。9-苯基吖啶在使用过程中经常出现与体系互溶性不好、易于凝聚和析出等问题，致使引发效率降低，影响材料性能。干膜显影阶段通常用碱性水溶液洗去未曝光的部分，而9-苯基吖啶因其极低的溶解性在此时会析出并吸附在电路板表面，如此不仅影响干膜的使用，还会降低产品的精密度，因此后续还需要增加电路板表面清洁工序，致使工艺繁琐，成本大大增加。

CN112835261A公开了一种EO/PO改性9-苯基吖啶类光敏剂，其在苯基的4位上具有氧化乙烯基与氧化丙烯基的嵌段共聚或无规共聚的结构。该光敏剂可水溶或水可乳化，该特性消除或减少了显影剂和剥离剂溶液中浮渣和残余物的积累。但是该光敏体系需要高压汞灯激发，在405nm激发波段使用时存在匹配度不高等问题。

目前的9-苯基吖啶引发体系存在溶解性不佳、分散性能不良以及曝光时光反应在感光性树脂组合物表层局部进行，底部固化性降低，因而存在光固化后所得抗蚀图案的分辨率及附着力不佳或抗蚀剂形状发生恶化的问题。就现有的感光性树脂组合而言，难以在良好维持光固化后所得抗蚀剂形状的同时获得充分的感光度。

因此，研究和开发适用于紫外-可见光激发的新型引发体系成为当下所要解决的问题。

发明内容

鉴于现有技术中存在上述问题，本发明目的在于提供能够形成感光度、分辨率及附着力优异并且抗蚀图案形状良好的感光性树脂组合物，特别是提供一种在405nm左右激发、溶解性更好、显影垃圾更少且固化速度更快的含有改性9-苯基吖啶光引发剂的感光性组合物。

本发明的发明人经过大量研究发现，通过向9-苯基吖啶共轭体系中引入杂原子，能够使其紫外吸收向405nm方向移动，在405nm波长下具有更高的引发效率；另一方面，杂原子的引入能够在9-苯基吖啶与聚合物之间形成氢键，抑制了其在体系中的迁移，提高了其分散稳定性，使整个体系固化更完全。

基于以上发现，本发明第一方面提供了一种含有改性9-苯基吖啶光引发剂的感光性组合物，其包含以下组分：

(A)0.5～20质量份的式(I)所示的光聚合引发剂；

(B)20～80质量份的粘合剂聚合物；

(C)20～50质量份的光聚合性化合物；

(D)0.01～10质量份的光致产酸剂；

(E)任选的其他助剂，