[发明专利]用于评估掺杂面密度的方法及设备在审
申请号: | 202310177946.4 | 申请日: | 2023-02-28 |
公开(公告)号: | CN115855741A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 盛况;龙虎;吴九鹏;任娜 | 申请(专利权)人: | 浙江大学杭州国际科创中心 |
主分类号: | G01N9/24 | 分类号: | G01N9/24;H01L29/06;G06T7/00;G06T5/00 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 陈靖康 |
地址: | 311200 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本公开涉及用于评估掺杂面密度的方法及设备。该方法包括:对待测样品的待测区域进行电子束照射;获得待测区域的亮度检测信息;及响应于亮度检测信息,通过亮度与掺杂面密度之间的映射关系获得待测区域的掺杂面密度,映射关系根据获得亮度密度模型步骤得到包括:形成至少两个基准样品,基准样品的掺杂面密度相互不同;获得至少两个基准样品中每个的基准掺杂面密度;对基准样品的基准区域进行电子束照射,并获得基准区域的亮度基准信息;及根据至少两个基准样品具有的至少两组基准掺杂面密度与亮度基准信息,获得映射关系。该方法不需要对待测样品进行改造加工,适用于已经制作完成的器件,可以满足在线监控工艺进展的需求。 | ||
搜索关键词: | 用于 评估 掺杂 密度 方法 设备 | ||
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- 本申请提供了一种电池极片在线面密度测量装置的驱动装置,包括底座、机架、射线发射装置、射线接收装置、第一驱动装置和过辊组件,机架安装在底座上,过辊组件设置在机架的两侧,用于对电池极片进行导向,第一驱动装置设置在机架上,第一驱动装置包括第一电机、同步轮组、同步带、上丝杆模组和下丝杆模组,射线发射装置安装在下丝杆模组上,射线接收装置安装在上丝杆模组上,第一电机通过同步轮组和同步带分别同步驱动射线发射装置沿下丝杆模组做相对移动以及驱动射线接收装置沿上丝杆模组做相对移动。本申请仅驱动射线发射装置和射线接收装置移动,从而提高电池极片在线面密度测量装置的检查精度。
- 一种电池极片在线面密度测量装置-202222960844.3
- 朱一民;李志勋 - 东莞市爱康智能技术有限公司
- 2022-11-08 - 2023-07-07 - G01N9/24
- 本申请提供了一种电池极片在线面密度测量装置,包括射线发射装置和射线接收装置,射线发射装置包括第一盒体、射线光管和第一闪烁探测器,射线光管和第一闪烁探测器均设置在第一盒体内,射线光管发出的射线通过第一盒体的第一发射孔发出,第一闪烁探测器位于射线光管与第一发射孔之间,第一闪烁探测器用于获取射线光管发出的射线强度,射线接收装置包括第二盒体和第二闪烁探测器,第二闪烁探测器设置在第二盒体内,第二盒体上设置有一接收孔,接收孔与第一盒体的第一发射孔相对应,第二闪烁探测器用于获取从第一发射孔发出且穿过电池极片后的射线强度。本申请获取的透射前的射线强度是跟随射线发射装置移动时获取的,可以进一步提高其测量精度。
- 一种稳定性高的超声波密度探测仪-202310397353.9
- 李超;邵成;喻志程;邵栩元 - 江苏盐城津能电力有限公司
- 2023-04-14 - 2023-07-04 - G01N9/24
- 本发明公开了一种稳定性高的超声波密度探测仪,涉及超声波探测技术领域,包括箱体,所述箱体上铰接有箱盖,并且所述箱体与箱盖之间设置有锁扣,所述箱体内安装有主机,所述主机上设置有显示器、操控按键、超声波探头接口以及数据传输接口;所述探测仪还包括探头组件,所述探头组件与主机之间设置有可拆卸的连接线,所述探头组件包括握柄、固定设置于握柄端部的外壳,所述外壳底端设置有声学换能器,所述外壳上滑动设置有多个定位柱,所述定位柱与外壳之间设置有弹簧一。本发明通过设置多个绕声学换能器设置的定位柱,对探头组件提供足够的支撑力,使得探头组件在检测过程中不易发生偏移,提高了检测时探头组件的稳定性。
- 一种建材检测装置-202320277296.6
- 贾鹏 - 潍坊昌建建设工程质量检测有限公司
- 2023-02-20 - 2023-06-30 - G01N9/24
- 本实用新型公开了的一种建材检测装置,旨在解决现有技术中建材检测装置检测建材时由于燃烧不充分,使得检测结果不准确的不足。本实用新型通过以下技术方案解决上述技术问题:包括:检测箱体内部由下至上依次设置有燃烧腔、检测腔和净化腔燃烧腔的内水平设置有燃烧滚筒,燃烧滚筒的侧壁由铁丝网构成,燃烧滚筒的一端与转动电机的输出端连接,燃烧滚筒的下方设置有点火组件;收集箱体设置在检测箱体的底部且与检测箱体相连通;收集箱体的侧壁上半部分设置有透气孔,收集箱体的下半部分设置有收集抽屉。在燃烧过程中通过燃烧滚筒的转动,使得燃烧能够更加的充分,使得测试的数据更加的准确。
- 一种海水绝对密度在线检测装置及其方法-202310131065.9
- 吴锜;白小雪;姬兰婷;王鑫;杨博 - 山东大学;德州尧鼎光电科技有限公司
- 2023-02-17 - 2023-06-23 - G01N9/24
- 本发明属于密度检测技术领域,具体涉及一种海水绝对密度在线检测装置及其方法,用波形发生器控制可调谐半导体激光二极管,使其输出光信号的波长为周期性的锯齿波信号,该锯齿波光信号被传输至具有梳状光谱的谐振腔结构的内部填充海水样本的折射率检测探头,在一个锯齿波周期内,光学谐振腔的反射光强度具有多个极小值,任意两个相邻的光强度极小值点对应的时间间隔相等,该时间间隔所对应的波长变化范围为光学谐振腔的自由光谱范围,通过计算该时间间隔内波长的变化范围,获得光学谐振腔的自由光谱范围,基于自由光谱范围与光学谐振腔内的介质折射率的关系,计算海水折射率,再根据海水绝对密度与其折射率的数值关系,确定海水的绝对密度值。
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