[发明专利]光刻机互锁装置的触发结构及方法在审
| 申请号： | 202310177028.1 | 申请日： | 2023-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN116184775A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 骆建钢;徐晓敏;黄俊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 闫学文 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机互锁装置的触发结构及方法，属于光刻机技术领域，该光刻机互锁装置的触发结构，设置于所述光刻机的检修窗口处，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置。采用激光装置作为触发结构，通过在激光接收装置接收不到激光束时触发互锁装置，从而减少了因外力碰撞带来的光刻机宕机，规避了潜在的晶圆和部件损坏风险。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 互锁 装置 触发 结构 方法 | ||
【主权项】：
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