[发明专利]光刻机互锁装置的触发结构及方法

说明书

本发明公开了一种光刻机互锁装置的触发结构及方法，属于光刻机技术领域，该光刻机互锁装置的触发结构，设置于所述光刻机的检修窗口处，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置。采用激光装置作为触发结构，通过在激光接收装置接收不到激光束时触发互锁装置，从而减少了因外力碰撞带来的光刻机宕机，规避了潜在的晶圆和部件损坏风险。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，特别涉及一种光刻机互锁装置的触发结构及方法。

背景技术

光刻机内部有多种激光光源和高速运动的运动部件，部分波长的激光和高速运动部件还会对人身造成潜在的伤害，所以设置在光刻机检修窗口上的cover(遮挡板)的互锁装置(interlock)就显得十分重要。光刻机互锁装置普遍采用的是接触式互锁装置，在机台内外两层cover上分别装设磁敏元件，当机台内外层的cover正常锁紧时，接触式磁敏元件产生电信号，当机台的MBDS(Machine BasedDiagnosticSystem，基于机器的诊断系统)软件侦测到接触式磁敏元件产生的电信号时，说明内外层cover正常锁紧，互锁装置正常工作；当外层的cover从机台上取下时，内外层的cover之间无法传递电信号，MBDS软件侦测到无电信号传递，则互锁装置触发，激光光源和运动部件会关闭并停止工作，机台停止工作，从而保护人员安全。

在实际制造过程中，光刻机上的互锁装置仍然存在缺陷，经常出现遮挡板完好，但互锁装置触发，从而导致光刻机急停的问题。特别是12英寸光刻机Waferstage(晶圆承载台)前后的遮挡板，当有外力轻微碰撞，内外层遮挡板正常覆盖在检修窗口上的情况下，互锁装置报警触发，导致光刻机急停，如果当晶圆正在向机械手臂交接时发生互锁装置触发，机台急停，有把晶圆甩出造成晶圆破损报废风险。究其原因，一般是放置光罩时，生产人员的身体或者推车撞击到了机台的外层遮挡板，在遮挡板受到外力撞击时，会导致磁敏元件产生的电信号瞬时电流过大，反馈到MBDS系统上会显示互锁装置异常，导致机台紧急停止，造成了不必要的机台宕机以及潜在的晶圆破损或部件损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机互锁装置的触发结构及方法，以解决遮挡板受到撞击容易导致机台急停的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻机互锁装置的触发结构，设置于所述光刻机的检修窗口处，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置；其中：

所述激光发射器设置在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，所述反射装置安装在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面，用以将接收到的激光束反射到所述激光接收器。

优选地，所述反射装置包括反射面垂直的第一分光镜和第二分光镜，以使射入和射出所述反射装置的激光束平行。

优选地，所述激光接收器设置在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，用以接收从所述反射装置反射的激光束。

一种光刻机，包括上述任一项所述的光刻机互锁装置的触发结构。

本发明还提供了另一种光刻机互锁装置的触发结构，设置于所述光刻机的检修窗口处，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置；其中：

所述激光发射器安装在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面，所述反射装置安装在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，用以将接收到的激光束反射到所述激光接收器。