[发明专利]光刻机互锁装置的触发结构及方法

权利要求书

1.一种光刻机互锁装置的触发结构，设置于所述光刻机的检修窗口处，其特征在于，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置；其中：

所述激光发射器设置在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，所述反射装置安装在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面，用以将接收到的激光束反射到所述激光接收器。

2.如权利要求1所述的光刻机互锁装置的触发结构，其特征在于，所述反射装置包括反射面垂直的第一分光镜和第二分光镜，以使射入和射出所述反射装置的激光束平行。

3.如权利要求1所述的光刻机互锁装置的触发结构，其特征在于，所述激光接收器设置在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，用以接收从所述反射装置反射的激光束。

4.一种光刻机，其特征在于，包括如上述权利要求1-3任一项所述的光刻机互锁装置的触发结构。

5.一种光刻机互锁装置的触发结构，其特征在于，设置于所述光刻机的检修窗口处，其特征在于，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置；其中：

所述激光发射器安装在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面，所述反射装置安装在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，用以将接收到的激光束反射到所述激光接收器。

6.如权利要求5所述的光刻机互锁装置的触发结构，其特征在于，所述反射装置包括反射面垂直的第一分光镜和第二分光镜，以使射入和射出所述反射装置的激光束平行。

7.如权利要求5所述的光刻机互锁装置的触发结构，其特征在于，所述激光接收器设置在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面上，用以接收从所述反射装置反射的激光束。

8.一种光刻机，其特征在于，包括如上述权利要求5-7任一项所述的光刻机互锁装置的触发结构。

9.一种光刻机互锁装置的触发方法，设置于所述光刻机的检修窗口处，其特征在于，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置；其中：

所述激光发射器设置在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，所述反射装置安装在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面，用以将接收到的激光束反射到所述激光接收器；或者，所述激光发射器安装在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面，所述反射装置安装在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，用以将接收到的激光束反射到所述激光接收器；

还包括以下步骤：

启动所述激光发射器使其发出激光束，经所述反射装置将激光束反射到所述激光接收器，所述光刻机正常工作；

当所述遮挡板带动其上的所述反射装置或所述激光发射器移动时，所述激光接收器无法接收到所述反射装置反射的激光束，则所述互锁装置触发，所述光刻机停止工作。

10.如权利要求9所述的光刻机互锁装置的触发方法，其特征在于，所述反射装置包括反射面垂直的第一分光镜和第二分光镜，以使射入和射出所述反射装置的激光束平行。