[发明专利]一种改善大尺寸碳化硅衬底TTV的加工方法在审
| 申请号： | 202310168227.6 | 申请日： | 2023-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN116079506A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 韦大勇;杨东风;黄伟山 | 申请（专利权）人： | 无锡弘元半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 张燕平 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善大尺寸碳化硅衬底TTV的加工方法，属于碳化硅衬底TTV领域，一种改善大尺寸碳化硅衬底TTV的加工方法，包括以下步骤：S1：对下抛光盘清理，并摆放游星轮；S2：在游星轮型腔口内划线等分后，将其取下；S3：在指定区域粘贴UV膜；S4：将游星轮重新装配在下抛光盘上，并放置碳化硅衬底进行测量，所述S1中，可将游星轮加工盘面进行奇数等份划分，并标记游星轮型腔口位置，标记步骤如下：a.先将下抛光盘表面清理完毕，抛光表面无杂质，将游星轮摆放在抛光盘表面；它可以实现，通过调整抛光垫各位置的高度，从而调整大尺寸碳化硅衬底各位置所承受的压力，从而保证大尺寸碳化硅衬底TTV非常小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 尺寸 碳化硅 衬底 ttv 加工 方法 | ||
【主权项】：
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