[发明专利]一种体声波滤波器及其制造方法和电子装置在审
| 申请号： | 202310166287.4 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116155224A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 冯雪丽;项少华;蔡敏豪;王冲 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851 | 代理人： | 李晴 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种体声波滤波器及其制造方法和电子装置，所述方法包括：提供第一衬底；在所述第一衬底上形成缓冲层，以及在所述缓冲层上形成压电层；在所述压电层的第一表面形成第一电极；提供第二衬底，在所述第二衬底的第一表面沉积覆盖有金属层；将所述第二衬底沉积覆盖有所述金属层的一侧与所述第一衬底形成有所述第一电极的一侧相接合，以在所述金属层与所述第一电极之间形成第一空腔；依次去除所述第一衬底和所述缓冲层，以露出所述压电层的第二表面；在所述压电层的第二表面形成第二电极。本发明能够通过键合方式获得空腔结构，并对用于形成空腔结构的第二衬底进行整面性金属沉积，实现底部静电屏蔽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 滤波器 及其 制造 方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
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