[发明专利]一种抛物面反射镜光轴精密标定装置及标定方法在审
| 申请号： | 202310126718.4 | 申请日： | 2023-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN116047785A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 刘伟光;张森;李阳;许航航;杜萌;惠刚阳;王智超;尹挺;赵红军;李月贵;朱志帆 | 申请（专利权）人： | 西安应用光学研究所 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62;G02B7/182;G02B7/198 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 刘二格 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛物面反射镜光轴精密标定装置，其包括：干涉仪、高精度平面标准镜，高精度平面标准镜中心开孔；干涉仪、高精度平面标准镜、抛物面反射镜组件由前至后同轴进行架设，干涉仪发出球面波测试光束，入射到抛物面反射镜后再反射到高精度平面标准镜上，之后沿原路返回，进入干涉仪与参考光束发生干涉，实现干涉测量。本发明通过高精度自准直，实现测量基准高精度转换，通过调节使高精度平面标准镜反射面法线、抛物面反射镜光轴、高精度自准直仪光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行；采用干涉测量方案，通过测量抛物面反射镜最佳面型，建立抛物面反射镜光轴与高精度平面标准镜之间的位置关系，测量精度高，重复精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛物面 反射 光轴 精密 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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