[发明专利]一种石英器件清洗设备在审
| 申请号： | 202310116960.3 | 申请日： | 2023-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN116329177A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 梁梦颖;张鑫江;郑明山;杨军 | 申请（专利权）人： | 浙江富乐德石英科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 祝跃飞 |
| 地址： | 324200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英器件清洗设备，包括高浓度酸洗槽、第一清水洗槽、第二清水洗槽、低浓度酸洗槽、第三清水洗槽、去离子水洗槽、抓取部件、输运部件、运动控制部件，所述高浓度酸洗槽、第一清水洗槽、第二清水洗槽、低浓度酸洗槽、第三清水洗槽和去离子水洗槽用于清洗石英器件表面的杂质，所述抓取部件用于石英器件在不同洗槽内的取放，所述输运部件用于石英器件在不同洗槽间的转运，所述运动控制部件用于控制抓取部件和输运部件的工作状态。通过运动控制部件对抓取部件和输运部件进行控制，实现石英器件在不同洗槽内的自动清洗转运，能够减小人工成本，提高清洗的效率和质量，并且大大提高安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 器件 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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