[发明专利]一种石英器件清洗设备

权利要求书

1.一种石英器件清洗设备，其特征在于，包括高浓度酸洗槽(1)、第一清水洗槽(2)、第二清水洗槽(3)、低浓度酸洗槽(4)、第三清水洗槽(5)、去离子水洗槽(6)、抓取部件(7)、输运部件(8)、运动控制部件(9)、加热部件(10)、支撑部件(11)；

所述抓取部件(7)包括第一驱动电机(701)、运动丝杠(702)、第一移动台(703)、挂钩(704)，所述输运部件(8)包括第二驱动电机(801)、移动导轨(802)、第二移动台(803)。；

所述石英器件清洗设备的清洗工序依次在高浓度酸洗槽(1)、第一清水洗槽(2)、第二清水洗槽(3)、低浓度酸洗槽(4)、第三清水洗槽(5)、去离子水洗槽(6)中完成。

2.根据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述高浓度酸洗槽(1)装有强酸洗剂，所述强酸洗剂由氢氟酸和清水组成，且氢氟酸和水的比例为50:1，所述强酸洗剂温度维持在40-50℃之间，提高酸洗效率。

3.根据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述第一清水洗槽(2)、第二清水洗槽(3)和第三清水洗槽(5)装有清水，所述第一清水洗槽(2)中清水温度维持在35-40℃，对石英件表面强酸洗剂进行粗洗，所述第二清水洗槽(3)中清水温度维持在30-35℃，对石英件表面强酸洗剂进行精洗，所述第三清水洗槽(5)中清水温度维持在常温，对石英件表面弱酸洗剂进行精洗。

4.根据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述高浓度酸洗槽(1)、第一清水洗槽(2)、第二清水洗槽(3)、低浓度酸洗槽(4)、第三清水洗槽(5)、去离子水洗槽(6)内装有PH值检测装置，同时各洗槽表面设有PH值显示窗口，对各洗槽内洗液的酸度进行监测，以便及时更换洗剂，保证清洗质量。

5.根据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，低浓度酸洗槽(4)装有弱酸洗剂，所述弱酸洗剂由氢氟酸和清水组成，且氢氟酸和水的比例为25:1，所述弱酸洗剂温度维持在30-35℃之间，提高酸洗效率。

6.据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述去离子水洗槽(6)装有去离子水，所述去离子水温度维持在常温，进一步提高石英器件清洁度。

7.根据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述抓取部件(7)置在各洗槽上方，所述抓取部件(7)连接于输运部件(8)，所述抓取部件(7)和输运部件(8)通过运动控制部件(9)控制，所述运动控制部件(9)为PLC控制器，所述PLC控制器能够控制第一驱动电机(701)和第二驱动电机(801)的运动状态，包括启停控制和定时控制。

8.根据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述第一驱动电机(701)设置于运动丝杠(702)上方，对运动丝杠(702)的竖直往复运动进行驱动，所述运动丝杠(702)上设有第一移动台(703)，所述第一移动台(703)能够随运动丝杠(702)做竖直往复运动，所述第一移动台(703)连接有挂钩(704)，所述挂钩(704)能够对洗槽中的盛具进行勾取。

9.根据权利要求8所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述运动丝杠(702)设置在第二移动台(803)上，所述第二移动台(803)设置在移动导轨(802)上，所述移动导轨(802)的水平往复运动通过第二驱动电机(801)控制。

10.根据权利要求1所述的一种石英器件清洗设备，其特征在于，所述加热部件(10)设置在各洗槽底部，能够对洗槽内的洗液进行加热，同时各洗槽表面设有温度值显示窗口，对各洗槽内洗液的温度进行监测，以便及时调节洗剂温度，保证清洗质量。