[发明专利]加工系统在审
申请号: | 202310095631.5 | 申请日: | 2023-02-07 |
公开(公告)号: | CN116572101A | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 新津敬一郎;金永奭;渡部晃司 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B23K26/354;B23K26/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;杨俊波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供加工系统,在磨削后使磨削面平坦化且将由于磨削所导致的损伤的至少一部分去除。磨削装置通过转台将晶片从第1粗磨削单元和第1精磨削单元向第1激光光线照射单元搬送。因此,在一个磨削装置内,能够对晶片进行磨削,并且能够容易且迅速地修复由于磨削而产生的晶片的损伤。因此,能够高效且良好地实施晶片的磨削和损伤的修复。 | ||
搜索关键词: | 加工 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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