[发明专利]失效单元预测方法、装置、设备及存储介质有效
| 申请号： | 202310095075.1 | 申请日： | 2023-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN115798559B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 潘志富;杨柳 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/00 | 分类号： | G11C29/00;G06F18/23;H10B12/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种失效单元预测方法、装置、设备及存储介质，属于半导体制造技术领域。该方法包括：获得待分析对象在目标测试阶段的已知失效单元信息；根据待分析对象的已知失效单元信息确定待分析对象的已知失效单元所属的类别；获得待分析对象中属于类别的已知失效单元数量；根据待分析对象中属于类别的已知失效单元数量从类别中确定目标类别；根据待分析对象中属于目标类别的已知失效单元是确定待分析对象中的潜在失效单元，以利用备用电路对已知失效单元和潜在失效单元进行修复。本公开通过获得待分析对象的已知失效单元信息来确定待分析对象的潜在失效单元，能够提高芯片的制造良率。 | ||
| 搜索关键词： | 失效 单元 预测 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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