[发明专利]集成电路器件和制造方法以及制造半导体器件的方法在审
| 申请号： | 202310093393.4 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN116344442A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 彭士玮;萧志民;赖建文;曾健庭;邓宇伦 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768;H01L23/538 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请的实施例提供了一种集成电路器件和制造方法以及制造半导体器件的方法，制造集成电路(IC)器件的方法包括以下操作：在半导体衬底上形成第一金属图案(Mx)，使用区域选择性沉积(ASD)在第一金属图案上形成包括形成在第一金属图案的相反边缘或端子部分附近的第一和第二通孔的第一通孔图案(Vx)，以及在第一通孔图案上形成第二金属图案(Mx+1)，其中基本上没有图案重叠以形成零封装，并且其中一对相邻通孔之间的距离对应于IC器件设计期间应用的一组设计规则所允许的最小端到端金属图案间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 器件 制造 方法 以及 半导体器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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