[发明专利]一种全自动真空校准系统及方法在审
申请号: | 202310089326.5 | 申请日: | 2023-01-29 |
公开(公告)号: | CN116007842A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 孙惠敏;席京彬;吴志军;王锋;鲍学斌;何婷婷;周振德;杨强强;张振鲁;王琛;邢校萄;潘晓亮 | 申请(专利权)人: | 华能核能技术研究院有限公司 |
主分类号: | G01L27/00 | 分类号: | G01L27/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 曲进华 |
地址: | 200126 上海市浦东新区中国(上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出一种全自动真空校准系统及方法,该系统包括:机械泵和充气罐;机械泵出口连接分子筛,分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵,分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室,出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室;充气罐连接一减压阀的入口端,减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至校准腔室;设置至少一个标准真空计,每一标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室;设置至少一个被校真空计安装位,用于安装被校正的真空计;每一被校真空计安装位在安装被校真空计后,每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室。通过本发明,能够实现被校真空表的自动校准,解决真空校准装置无法自动校准的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 真空 校准 系统 方法 | ||
【主权项】:
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