[发明专利]一种全自动真空校准系统及方法

说明书

本发明提出一种全自动真空校准系统及方法，该系统包括：机械泵和充气罐；机械泵出口连接分子筛，分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室；充气罐连接一减压阀的入口端，减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个标准真空计，每一标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室。通过本发明，能够实现被校真空表的自动校准，解决真空校准装置无法自动校准的问题。

技术领域

本发明涉及真空校准技术领域，尤其涉及一种全自动真空校准系统及方法。

背景技术

真空技术在航空航天、芯片制造、电子器件制造、冶金等行业得到了广泛的应用，而真空校准包含了真空获得、真空测量、真空漏率计算等多种真空技术，是检查和修正真空类仪表精度的重要手段。

目前，真空类仪表的校准工作主要是在计量实验室完成，并且，由于真空度的建立需要很精确的控制，因此真空校准装置通常需要人工手动完成不同真空度的调整，因此实现真空校准装置全自动校准能够方便用户使用并简化用户操作难度。

发明内容

本发明提供一种全自动真空校准系统及方法，旨在解决真空校准装置需要人工手动完成校准而无法全自动校准的问题。

为此，本发明的第一个目的在于提出一种全自动真空校准系统，包括：

机械泵和充气罐；

机械泵出口连接分子筛，分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室；

充气罐连接一减压阀的入口端，减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至校准腔室；

设置至少一个标准真空计，每一标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室；

设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室。

其中，减压阀的出口端和第三电磁隔断阀连接的路径上设置一质量流量控制器。

其中，机械泵用于创建初始的真空环境，要求极限真空为10Pa以内；分子筛利用高速旋转的转子，将动量传输至气体分子，以使气体分子获得定向速度而被压缩。

其中，分子筛出口端通过电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，形成分子泵的旁路路径；设置旁路路径，以使机械泵直接连接校准腔室，以控制校准腔室稳定在设定的高真空点进行校准。

其中，充气罐内充有氮气，用于为真空的校准腔室升压，充气罐出口设置减压阀，减压阀出口连接质量流量控制器，用于控制充气罐的充气量。

其中，质量流量控制器的出口端设置第三电磁截止阀，第三电磁截止阀连接校准腔室，用于实现质量流量控制器与真空校准腔室的隔离。

其中，校准腔室采用不锈钢或其他合金制作，校准腔室的形状选择球体状或其他形状，校准腔室的大小根据极限真空度及校准精度来确定。

其中，设置一控制系统，控制系统用于采集所有电磁隔断阀的状态信号，控制机械泵、分子泵的启停，控制减压阀的开度以及被校真空计状态判定及结果分析。

其中，控制系统包括一触摸屏，用于显示阀门开闭情况和开度，同时显示各设备工作情况。

本发明的第二个目的在于提出一种全自动真空校准方法，包括：