[发明专利]一种全自动真空校准系统及方法

权利要求书

1.一种全自动真空校准系统，其特征在于，包括：

机械泵和充气罐；

所述机械泵出口连接分子筛，所述分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，所述分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至所述校准腔室；

所述充气罐连接一减压阀的入口端，所述减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至所述校准腔室；

设置至少一个标准真空计，每一所述标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至所述校准腔室；

设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一所述被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接所述校准腔室。

2.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述减压阀的出口端和第三电磁隔断阀连接的路径上设置一质量流量控制器。

3.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述机械泵用于创建初始的真空环境，要求极限真空为10Pa以内；所述分子筛利用高速旋转的转子，将动量传输至气体分子，以使所述气体分子获得定向速度而被压缩。

4.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述分子筛出口端通过所述电动可调开度蝶阀连接至所述校准腔室，形成所述分子泵的旁路路径；设置所述旁路路径，以使所述机械泵直接连接所述校准腔室，以控制所述校准腔室稳定在设定的高真空点进行校准。

5.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，充气罐内充有氮气，用于为真空的校准腔室升压，充气罐出口设置所述减压阀，减压阀出口连接质量流量控制器，用于控制充气罐的充气量。

6.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，质量流量控制器的出口端设置所述第三电磁截止阀，所述第三电磁截止阀连接所述校准腔室，用于实现所述质量流量控制器与真空校准腔室的隔离。

7.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述校准腔室采用不锈钢或其他合金制作，所述校准腔室的形状选择球体状或其他形状，校准腔室的大小根据极限真空度及校准精度来确定。

8.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，设置一控制系统，所述控制系统用于采集所有电磁隔断阀的状态信号，控制所述机械泵、分子泵的启停，控制减压阀的开度以及被校真空计状态判定及结果分析。

9.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述控制系统包括一触摸屏，用于显示阀门开闭情况和开度，同时显示各设备工作情况。

10.一种全自动真空校准方法，其特征在于，包括：

初始化：判断全自动真空校准系统状态，包括电磁隔断阀、电动可调开度蝶阀及减压阀的阀门开关状态、机械泵、分子泵的启停状态、充气罐的压力；将状态均置为正确的状态；

校准：将被校规管对空后，调整对应被校真空计满点，使得被校真空计显示为大气压力1.0E+5Pa；将被校规管连接至校准腔室，根据标准流程启动机械泵，当真空度达到设定真空度时启动分子泵，分子泵开始进行高真空度获得；当真空度达到0.5Pa并保持稳定后查看被校真空计数值，如有偏差则进行零点调整，调整至与标准表数值一致；

充气对比：通过控制流量控制器来控制校准腔室的真空度，使校准腔室真空度达到100Pa并稳定后，采集标准真空计数值和被校真空计数值并计算偏差，完成后继续调整减压阀来控制校准腔室的真空度，使校准腔室真空度达到1000Pa并稳定后，采集标准真空计数值和被校真空计数值并计算偏差，完成后关闭充气罐的充气管路截止阀；

停机泄压：完成充气对比后停止分子泵，待分子泵停止后停止机械泵，记录被校真空计数值，应该为大气压力，如数值不对重复前述两个步骤。

关机：如果是短时间内还会使用全自动真空校准系统则保持当前状态，如超过预设时间间隔不使用全自动真空校准系统，则将被校真空计进行抽真空后关闭对应的电磁隔断阀进行保养。