[发明专利]一种基于锚固效应提高n型碲化铋基热电元件金属化连接强度的方法

摘要

本发明公开了一种基于锚固效应提高n型Bi2Te3基热电元件金属化连接强度的方法，配置n型Bi2Te3基晶片表面处理剂，成分包括40～50％硫酸(体积)、1～2％硝酸(体积)、余量为水；将洁净的n型Bi2Te3基晶片浸入表面处理剂中进行表面刻蚀；再将经过刻蚀后的n型Bi2Te3基晶片浸入超纯水中进行超声；超声后的n型Bi2Te3基晶片通过电镀或化学镀方式进行金属化连接，镀层金属易与n型Bi2Te3发生锚定效应，其金属化连接强度得到提高；最后进行划片切割，得到较高金属化连接强度的Bi2Te3基热电元件。本发明使得n型Bi2Te3基晶片在电镀前具有较高的表面粗糙度，有利于和镍等镀层金属形成锚固效应，从而获得较高金属化连接强度的Bi2Te3基热电元件，并且对热电元件无任何物理损伤，可以提高产品合格率。