[发明专利]图像传感器

摘要

一种图像传感器，包括：像素划分结构，像素划分结构包括中心部分和位于中心部分的侧壁上的侧部图案结构，像素划分结构在垂直于衬底的上表面的垂直方向上延伸穿过衬底，像素划分结构限定包括单位像素的单位像素区域。图像传感器包括位于每个单位像素区域中的感光元件；平坦化层，平坦化层位于衬底上；滤色器阵列层，滤色器阵列层位于平坦化层上并且包括滤色器；以及微透镜，微透镜位于滤色器阵列层上。侧部图案结构包括：第二侧部图案，第二侧部图案位于中心部分的侧壁上，以及第一侧部图案，第一侧部图案位于第二侧部图案的外侧壁上，第一侧部图案包括氧化硅，并且第二侧部图案包括含碳氮化硅。