[发明专利]基于可重复使用芯模的太赫兹金属镀层空芯矩形波导腔体电铸制造方法有效
| 申请号： | 202310069894.9 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN115821338B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 毕晓磊;陈荣尚;程雪利;王伟;郭课;康玉辉 | 申请（专利权）人： | 河南工学院 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C25D1/02;G03F7/20;H01P11/00;H01P3/12;C23F1/00 |
| 代理公司： | 新乡市挺立众创知识产权代理事务所(普通合伙) 41192 | 代理人： | 刘爽 |
| 地址： | 453000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于可重复使用芯模的太赫兹金属镀层空芯矩形波导腔体电铸制造方法，包括以下步骤：制造长方体状的难刻蚀矩形芯模；在难刻蚀矩形芯模两端涂绝缘胶，在未涂绝缘胶的表面电铸牺牲金属层；牺牲金属层外表面电铸腔体工作金属层；在腔体工作金属层外表面电铸基体保护层；去除掉难刻蚀矩形芯模两端的绝缘胶后，放入选择性刻蚀溶液中将牺牲金属层刻蚀溶解；抽出难刻蚀矩形芯模得到太赫兹金属镀层空芯矩形波导腔体。本发明的基于可重复使用芯模的太赫兹金属镀层空芯矩形波导腔体电铸制造方法，保留了完整的可重复使用的难刻蚀矩形芯模，省去了多次制作矩形芯模的时间，提升了太赫兹金属镀层空芯矩形波导腔体的制作效率和质量一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 重复使用 赫兹 金属 镀层 矩形波导 电铸 制造 方法 | ||
【主权项】：
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