[发明专利]一种晶圆平面度测量平台运行误差补偿方法及系统有效
| 申请号： | 202310069671.2 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN115876148B | 公开（公告）日： | 2023-05-19 |
| 发明（设计）人： | 向小山;曲桓霆;马铁中 | 申请（专利权）人： | 昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 刘红伟 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆平面度测量平台运行误差补偿方法及系统，涉及半导体测试技术领域，该方法包括：将目标晶圆置于测量平台之上，对目标晶圆进行扫描，获取第一X向数据集与第一Y向数据集，以及第二X向数据集与第二Y向数据集；对第一X向数据集、第二X向数据集进行拟合，得到第一X向最佳二乘平面与第二X向最佳二乘平面，计算第一X向一维向量与第二X向一维向量，以得到X向跳动估计值；以相同方式得到Y向跳动估计值；根据所述X向跳动估计值与所述Y向跳动估计值。计算各个扫描点的综合跳动数据；根据综合跳动数据，得到运用于晶圆平面度测量的补偿数据。本发明旨在解决现有技术中对晶圆平面度测量进行补偿不够精准的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 测量 平台 运行 误差 补偿 方法 系统 | ||
【主权项】：
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