[发明专利]非挥发性内存元件在审
申请号: | 202310064239.4 | 申请日: | 2023-01-13 |
公开(公告)号: | CN116896886A | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 范德慈;黄义欣;郑宗文 | 申请(专利权)人: | 物联记忆体科技股份有限公司 |
主分类号: | H10B41/30 | 分类号: | H10B41/30;H10B41/42;H10B41/50 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开一种非挥发性内存元件,包括至少一个内存单元,内存单元包括衬底、堆叠结构、穿隧介电层、浮置闸极、控制闸极结构和抹除闸极结构。堆叠结构设置在衬底上,并且包括依序堆叠的闸极介电层、辅助闸极和绝缘层。穿隧介电层位于堆叠结构一侧的衬底上。浮置闸极设置在穿隧介电层上,并包括最上边缘和曲面侧壁。控制闸极结构覆盖浮置闸极的曲面侧壁。抹除闸极结构覆盖浮置闸极和控制闸极结构,且浮置闸极的最上边缘被嵌入至抹除闸极结构中。 | ||
搜索关键词: | 挥发性 内存 元件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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