[发明专利]阻挡杂质带探测器及其制备方法、探测系统在审

专利信息
申请号: 202310064073.6 申请日: 2023-01-13
公开(公告)号: CN116093193A 公开(公告)日: 2023-05-09
发明(设计)人: 杜瑀;朱家旗;陈焕坚;阮罗渊;宋睿烜;白石根;林虹宇;唐燕如;单玉凤;俞国林;邓惠勇;戴宁 申请(专利权)人: 之江实验室
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101;H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 张相钦
地址: 311121 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请涉及一种阻挡杂质带探测器及其制备方法、探测系统。其中,阻挡杂质带探测器包括:衬底、转接电极与至少一个接收单元;所述衬底具有相对的第一表面与第二表面,所述接收单元从所述第一表面开始朝向所述第二表面延伸;所述接收单元在所述第一表面上阵列排布;所述接收单元被配置为接收辐射,并产生与接收的辐射相对应的电流;每一所述接收单元均包括接触部;所述转接电极位于至少部分所述接触部朝向所述第一表面的一侧,所述转接电极的材料包括石墨烯。
搜索关键词: 阻挡 杂质 探测器 及其 制备 方法 探测 系统
【主权项】:
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