[发明专利]一种射频电源的智能控制方法及系统有效
| 申请号： | 202310049423.1 | 申请日： | 2023-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN116243636B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 朱培文;尹巧星 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;H02M1/36;H02M1/32;H02M1/00 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 黄启兵 |
| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频电源的智能控制方法及系统，涉及计算机应用技术领域，所述方法包括：通过反馈量检测模块得到目标射频电源的目标同步信号；分析判断所述目标射频电源是否达到预设状态要求；若是，调用预设控制方案，并提取第一预设控制方案，对目标晶闸管进行启动控制，得到稳步上升电压；达到预设额定电压时提取第二预设控制方案；对目标电流进行启动控制，得到电流控制结果；确定目标触发电路；对目标射频电源进行启动控制。解决了现有中对射频电源的控制存在智能化程度低，电源控制不稳定的问题。实现了提高射频电源启动控制智能化程度的目标，达到了软启动控制，降低高压电路对电子管及周围电路的冲击，减小元器件损害的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 智能 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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