[发明专利]一种无接触式检测大样品超微小缺陷的装置在审
| 申请号： | 202310028247.3 | 申请日： | 2023-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN116297471A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李青岩;龚海;魏新和;顾海鹏;杨彦琳;陈俊秀 | 申请（专利权）人： | 浙江大学湖州研究院 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人： | 刘兰英 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市西塞山路8*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种无接触式检测大样品超微小缺陷的装置，包括一套高准直，高均匀度的线光发射系统和一套大视场高灵敏度的接收光学系统；线光发射系统包括依次设置的激光器、鲍威尔棱镜、平凸柱面镜，即激光出射后经过鲍威尔棱镜形成一束发散的线激光光源，然后经过平凸柱面镜进行准直得到高准直、高均匀度的线激光光源；大视场高灵敏度的接收光学系统包括一个高质量的接收物镜和阵列式光电探测器。本发明适用于大尺寸、存在um级的微小缺点的产品检测，实现无接触、快速、准确的自动化检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 检测 样品 微小 缺陷 装置 | ||
【主权项】：
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