[发明专利]用于激光加工工件的设备和方法

摘要

本发明涉及一种用于激光加工工件(104)的设备，所述工件具有对所述激光加工透明的材料(102)，所述设备包括第一光束整形装置(106)和聚焦光具(116)，所述第一光束整形装置具有分束元件(112)，用于将耦入到第一光束整形装置(106)中的第一输入光束(108)分成多个子光束(114)，所述聚焦光具被配属于第一光束整形装置(106)并用于将从第一光束整形装置(106)耦合输出的子光束(114)成像到至少一个聚焦区(122)中，其中，借助于分束元件(112)通过对第一输入光束(108)进行相位施加来对第一输入光束(108)进行分束，其中，这些子光束(114)被聚焦到至少一个聚焦区(122)的不同子区域(120)中，以形成所述至少一个聚焦区(122)，其中，所述至少一个聚焦区(122)借助于聚焦光具(116)以相对于工件(104)的外侧(144；146)的至少一个迎角(α)引入所述材料(102)中，以激光加工工件(104)，并且其中，通过将所述材料(102)暴露于至少一个聚焦区(122)来在所述材料(102)中产生与所述材料(102)中的裂纹形成相关联的材料改性部(156)。