[发明专利]厚度测量装置

摘要

厚度测量装置可以包括：载物台模块；上部光学模块，其在载物台模块上方并且在Z轴方向上与载物台模块间隔开；载物台，其在载物台模块下方且在Z轴方向上与载物台模块间隔开，并且包括下部光学模块，其中载物台模块具有比上部光学模块和下部光学模块更大的面积；用于使载物台沿着Y轴移动的Y轴移动机构；测量样本放置部，其设置在载物台上且在其上放置测量样本；样本安装部，其上选择性地安装参考样本或校正样本中的一者；以及样本安装部移动机构，其设置在载物台上并使样本安装部沿着Z轴移动，其中，参考样本可以是用作用于厚度测量的参考的样本，并且校正样本可以是形成有至少一个标记部的样本。