[实用新型]用于晶体生长装置的隔热保温件及晶体生长装置有效
| 申请号： | 202223449334.6 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN218989463U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 马俊杰;张华利;赵玉兵;周洁 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶体生长装置的隔热保温件及晶体生长装置，晶体生长装置包括坩埚，用于晶体生长装置的隔热保温件设于坩埚外侧且沿坩埚的周向方向延伸，所述用于晶体生长装置的隔热保温件包括：隔热件，隔热件包括竖直段和上段，上段的一端与竖直段的上端连接，上段的另一端沿坩埚径向方向向内或向外延伸；保温件，保温件在坩埚的径向方向上与竖直段层叠设置，保温件与上段位于竖直段沿坩埚径向方向的同一侧，保温件位于上段的下方。根据本实用新型的用于晶体生长装置的隔热保温件，隔热效果好，阻挡了侧部加热器对坩埚下部分的热辐射，从而减少侧部加热器对坩埚的热辐射面积，从而降低单晶棒的氧含量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶体生长 装置 隔热 保温 | ||
【主权项】：
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