[实用新型]用于晶体生长装置的隔热保温件及晶体生长装置

权利要求书

1.一种用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，晶体生长装置包括坩埚，所述用于晶体生长装置的隔热保温件设于所述坩埚外侧且沿所述坩埚的周向方向延伸，所述用于晶体生长装置的隔热保温件包括：

隔热件，所述隔热件包括竖直段和上段，所述上段的一端与所述竖直段的上端连接，所述上段的另一端沿所述坩埚径向方向向内或向外延伸；

保温件，所述保温件在所述坩埚的径向方向上与所述竖直段层叠设置，所述保温件与所述上段位于所述竖直段沿所述坩埚径向方向的同一侧，所述保温件位于所述上段的下方。

2.根据权利要求1所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述隔热件还包括：

下段，所述下段的一端与所述竖直段的下端连接，另一端沿所述坩埚的径向方向向内或向外延伸，所述下段与所述上段位于所述竖直段沿所述坩埚径向方向的同一侧，所述保温件位于所述上段和所述下段之间。

3.根据权利要求2所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述上段和所述下段的远离所述竖直段的一端均沿所述坩埚的径向方向向外延伸，所述保温件设于所述竖直段的沿所述坩埚径向方向的径向外侧。

4.根据权利要求1所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述晶体生长装置还包括设于所述坩埚外侧的保温桶，所述用于晶体生长装置的隔热保温件设于所述保温桶的内侧，所述隔热件上设有用于与所述保温桶连接的安装孔，所述保温桶上设有与所述安装孔配合的连接孔。

5.根据权利要求4所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述安装孔为圆孔或所述安装孔为沿上下方向延伸的条形孔；

和/或，所述连接孔为沿上下方向延伸的条形孔。

6.根据权利要求1所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述隔热件为碳碳件或者石墨件。

7.根据权利要求1所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述保温件为固化毡。

8.根据权利要求1所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述隔热件和所述保温件均为环形。

9.根据权利要求1所述的用于晶体生长装置的隔热保温件，其特征在于，所述隔热件为沿所述坩埚的周向方向间隔开的多段，所述保温件为沿所述坩埚的周向方向间隔开的多段，多段所述保温件与多段所述隔热件一一对应。

10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的用于晶体生长装置的隔热保温件。