[实用新型]快速调整探针卡水平度的探针卡装载台

摘要

本实用新型公开了一种快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，包括：基板；用于搁置探针卡的至少三块活动翻板，至少三块活动翻板沿基板的周向方向设置，活动翻板具有面向基板的平面中心的第一端和背向平面中心的第二端，活动翻板的第一端通过铰接轴可翻转地安装于基板，活动翻板的底部形成有倾斜设置的受动坡面，受动坡面的上端斜向上向外设置；调平件，基板的上部开设有多个导向槽，每一个活动翻板的受动坡面的下方设置有导向槽，导向槽的成槽方向与铰接轴的轴向方向呈角度设置，调平件位置可调地安装于导向槽中且支顶于受动坡面。本实用新型解决了现有的探针卡装载台上的探针卡高度补偿方式存在调整效率低的问题。