[实用新型]快速调整探针卡水平度的探针卡装载台

权利要求书

1.一种快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，包括：

基板；

用于搁置探针卡的至少三块活动翻板，所述至少三块活动翻板沿所述基板的周向方向设置，所述活动翻板具有面向所述基板的平面中心的第一端和背向所述平面中心的第二端，所述活动翻板的第一端通过铰接轴可翻转地安装于所述基板，所述活动翻板的底部形成有倾斜设置的受动坡面，所述受动坡面的上端斜向上向外设置；

调平件，所述基板的上部开设有多个导向槽，每一个所述活动翻板的受动坡面的下方设置有所述导向槽，所述导向槽的成槽方向与所述铰接轴的轴向方向呈角度设置，所述调平件位置可调地安装于所述导向槽中且支顶于所述受动坡面。

2.根据权利要求1所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述基板呈圆环形。

3.根据权利要求2所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述活动翻板的数量为四块。

4.根据权利要求3所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述活动翻板呈扇形。

5.根据权利要求2所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述活动翻板的顶面为平面。

6.根据权利要求2所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述铰接轴沿所述基板的内环孔的圆周方向设置。

7.根据权利要求6所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述导向槽沿所述基板的径向方向设置。

8.根据权利要求7所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述调平件为螺杆，所述导向槽的远离所述内环孔的一端贯穿所述基板，所述导向槽的内壁形成有沿所述导向槽的长度方向设置的内螺纹，所述螺杆螺合于所述导向槽，所述螺杆的上部经由所述导向槽的槽口伸至所述导向槽的上翻且支顶于所述受动坡面。

9.根据权利要求8所述的快速调整探针卡水平度的探针卡装载台，其特征在于，所述导向槽的深度小于所述螺杆的直径且大于所述螺杆的半径。