[实用新型]一种反射率光学测量装置及半导体成膜设备有效
| 申请号： | 202223385933.6 | 申请日： | 2022-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN219038821U | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 马法君;吴怡;刘明军;刘雷;郑冬;周慧娟 | 申请（专利权）人： | 楚赟科技（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;C23C14/54;C23C16/52;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 311800 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种反射率光学测量装置及半导体成膜设备，装置包括：面光源、光学组件和光探测模块；面光源用于发射入射探测光；光学组件位于面光源和光学视窗之间，用于使入射探测光经过光学组件后通过光学视窗投射至待测对象的被测面上，并使被被测面反射且通过光学视窗射出的出射探测光被光探测模块接收；面光源通过光学组件形成面光源的像，面光源的像的尺寸/面积大于等于光学视窗的尺寸/面积。本实用新型采用面光源发射非平行光作为入射探测光，可提供反射率的有效测量，并能使光路调整变得较为简单，且测量装置可不受安装位置的过多限制，从而达到简化光路，增加可靠性的目的，可用于对产生较大翘曲的外延片的测量，拓宽了应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射率 光学 测量 装置 半导体 设备 | ||
【主权项】：
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