[实用新型]一种微结构角度激光测试仪器有效

专利信息
申请号: 202223322654.5 申请日: 2022-12-12
公开(公告)号: CN218628922U 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 劳永杰;沈渊;周鹏;潘家鑫 申请(专利权)人: 凯鑫森(上海)功能性薄膜产业股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 杭州创信知识产权代理有限公司 33383 代理人: 孙俊杰
地址: 201507 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种微结构角度激光测试仪器,旨在解决现有的光学薄膜通过显微镜观察膜片结构流程复杂,无法应用于生产线的不足。该实用新型包括架体、激光光源、膜片固定器以及刻度尺,激光光源固定连接在架体的一端,刻度尺固定连接在架体的另一端,膜片固定器固定连接在架体的中部位置,激光光源产生的激光与膜片固定器定位的膜片垂直。利用激光在膜片不同形状的微结构折射产生的不同偏折角度来测算微结构的特征,方便高效,易于在生产线上推广,本装置能轻易照射到不规则的几何图案表面,就算是最深处也可照射到,精度更高。
搜索关键词: 一种 微结构 角度 激光 测试 仪器
【主权项】:
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