[实用新型]一种分体舟托设备

摘要

本实用新型涉及半导体制造领域，具体提供了一种分体舟托设备，包括：两个相对设置的端板、两组侧板组，两组侧板组设置在两个端板之间相对两侧，所述侧板组包括若干依次可拆卸连接的侧板，所述端板可拆卸的设置在侧板组的两端。所述端板和侧板的材质均为碳化硅。侧板之间可拆卸连接，以及端板与侧板可拆卸连接，从而使得本实用新型的侧板及端板可拆卸更换，可根据需要更换某个侧板或端板，而不需要整体更换，节约设备的损坏成本，降低了物件消耗的成本。通过将原载具舟托改为碳化硅舟托，由于碳化硅材质刚性比石英材质刚性强度更高，可承载的硅片质量更大，可提高一定的产量。