[实用新型]一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构有效
| 申请号： | 202223259171.5 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN218666238U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 杜国宏;马忠帅 | 申请（专利权）人： | 江苏舜大新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225000 江苏省扬州市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了光伏领域内的一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，包括内腔体，内腔体与下极板配套，内腔体的腔体壁底部配套设置有绝缘屏蔽层，绝缘屏蔽层的上部设置有外卡槽，绝缘屏蔽层经外卡槽与腔体壁底部卡接；内腔体经绝缘屏蔽结构落在下极板上，进而形成紧密的腔体结构。本实用新型1.绝缘屏蔽层选用耐高温弹性导磁材料，弹性材料使内腔体的落下有缓冲，并使内腔体和下级板通过挤压绝缘屏蔽层形成高密闭空间，有效降低腔漏率，导磁性质能使腔体能将磁干扰导入大地。2.绝缘屏蔽层的开孔设计，能确定挤压下的形变中点，挤压下有规则的形变，使绝缘屏蔽层能在不同压力下，获得不同屏蔽密闭性，压力越强，屏蔽密闭性越强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沉积 镀膜 设备 绝缘 屏蔽 结构 | ||
【主权项】：
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