[实用新型]超高纯气体单侧供气系统

摘要

本实用新型公开了一种超高纯气体单侧供气系统，包括初级过滤器、一级调压阀、泄压阀、第一球阀、第二球阀、精细过滤器、单向阀、二级减压阀、压力表和隔膜阀，供气系统的面板上的进气口连接有初级过滤器、初级过滤器通过一级调压阀分别与泄压阀、第一球阀和第二球阀相连，第一球阀通过精细过滤器与二级减压阀相连，第二球阀与单向阀相连，二级减压阀通过焊接三通分别与隔膜阀和压力表相连。本实用新型结构设计合理，面板配有两个过滤器以保证气体纯度，面板配有两个减压阀，使压力更加稳定的输出，并设置有排空阀，用于更换钢瓶之后把管内可能进入得空气排出，以保证气体纯度。