[实用新型]超高纯气体单侧供气系统有效
| 申请号： | 202223201778.8 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN219198891U | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赵英杰 | 申请（专利权）人： | 上海洁安流体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海尊肃专利代理事务所(普通合伙) 31454 | 代理人： | 赖林东 |
| 地址： | 201613 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 气体 供气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.超高纯气体单侧供气系统，其特征在于，包括初级过滤器(1)、一级调压阀(2)、泄压阀(3)、第一球阀(4)、第二球阀(5)、精细过滤器(6)、单向阀(7)、二级减压阀(8)、压力表(9)和隔膜阀(10)，供气系统的面板上的进气口连接有初级过滤器(1)、初级过滤器(1)通过一级调压阀(2)分别与泄压阀(3)、第一球阀(4)和第二球阀(5)相连，第一球阀(4)通过精细过滤器(6)与二级减压阀(8)相连，第二球阀(5)与单向阀(7)相连，二级减压阀(8)通过焊接三通分别与隔膜阀(10)和压力表(9)相连。
2.根据权利要求1所述的超高纯气体单侧供气系统，其特征在于，所述的压力表(9)通过螺纹与减压器相连。
3.根据权利要求1所述的超高纯气体单侧供气系统，其特征在于，所述的隔膜阀(10)是控制气体的排空开关，与不锈钢管VCR连接。
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