[实用新型]超高纯气体单侧供气系统

说明书

本实用新型公开了一种超高纯气体单侧供气系统，包括初级过滤器、一级调压阀、泄压阀、第一球阀、第二球阀、精细过滤器、单向阀、二级减压阀、压力表和隔膜阀，供气系统的面板上的进气口连接有初级过滤器、初级过滤器通过一级调压阀分别与泄压阀、第一球阀和第二球阀相连，第一球阀通过精细过滤器与二级减压阀相连，第二球阀与单向阀相连，二级减压阀通过焊接三通分别与隔膜阀和压力表相连。本实用新型结构设计合理，面板配有两个过滤器以保证气体纯度，面板配有两个减压阀，使压力更加稳定的输出，并设置有排空阀，用于更换钢瓶之后把管内可能进入得空气排出，以保证气体纯度。

技术领域

本实用新型涉及的是一种供气系统，具体涉及一种超高纯气体单侧供气系统。

背景技术

现有的供气系统，由于结构上的设计缺陷，导致供气系统控制面板的供气纯度不高，而且现有的供气控制面板的控制效果不佳，导致气体输出的稳定性差。为了解决上述问题，本实用新型设计了一种超高纯气体单侧供气系统。

实用新型内容

针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种超高纯气体单侧供气系统，结构设计合理，面板配有两个过滤器以保证气体纯度，面板配有两个减压阀，使压力更加稳定的输出，并设置有排空阀，用于更换钢瓶之后把管内可能进入得空气排出，以保证气体纯度。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：超高纯气体单侧供气系统，包括初级过滤器、一级调压阀、泄压阀、第一球阀、第二球阀、精细过滤器、单向阀、二级减压阀、压力表和隔膜阀，供气系统的面板上的进气口连接有初级过滤器、初级过滤器通过一级调压阀分别与泄压阀、第一球阀和第二球阀相连，第一球阀通过精细过滤器与二级减压阀相连，第二球阀与单向阀相连，二级减压阀通过焊接三通分别与隔膜阀和压力表相连。

作为优选，所述的压力表通过螺纹与减压器相连。

作为优选，所述的隔膜阀是控制气体的排空开关，与不锈钢管VCR连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型的面板配有两个过滤器，分别为初级过滤器和精细过滤器，通过过滤器来加纯气体纯度，面板配有一个一级减压阀和一个二级减压阀，使压力更加稳定的输出，并且配有排空隔膜阀，用于更换钢瓶之后把管内可能进入得空气排出以保证气体纯度。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

参照图1，本具体实施方式采用以下技术方案：超高纯气体单侧供气系统，包括初级过滤器1、一级调压阀2、泄压阀3、第一球阀4、第二球阀5、精细过滤器6、单向阀7、二级减压阀8、压力表9和隔膜阀10，供气系统的面板上的进气口连接有初级过滤器1、初级过滤器1通过一级调压阀2分别与泄压阀3、第一球阀4和第二球阀5相连，第一球阀4通过精细过滤器6与二级减压阀8相连，第二球阀5与单向阀7相连，二级减压阀8通过焊接三通分别与隔膜阀10和压力表9相连。

值得注意的是，所述的压力表9通过螺纹与减压器相连。

此外，所述的隔膜阀10是控制气体的排空开关，与不锈钢管VCR连接。

本具体实施方式的工作原理：气体由管路进入面板后经过初级过滤器，然后经过一级调压之后有主控阀和排空吹扫阀，经过中间主控球阀去往二级调压阀控制输出压力输出由主控隔膜阀控制，此配置一般适用于超高纯气体。

本具体实施方式配有两个过滤器以加纯气体纯度，面板配有两个减压阀，使压力更加稳定的输出，配有排空阀，用于更换钢瓶之后把管内可能进入得空气排出，以保证气体纯度。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。